教員情報 - 小田　昭紀 | 千葉工業大学

■ 学位

1.

北海道大学博士課程修了博士（工学）

■ 研究概要

放電プラズマを利用した工学技術は、古くは蛍光灯やオゾン生成、最近は半導体製造やプラズマテレビなど幅広い分野で利用されており、我々の生活を支える基盤技術となっている。当研究室では、計算機シミュレーションを駆使した本プラズマの基礎特性の解明を通じ、各種応用技術（たとえば、プラズマテレビや工キシマランプなど）の高性能化や高効率化に寄与する技術開発の研究などに取り組んでいる。

■ 専門分野

電力工学, プラズマ科学, プラズマ応用科学, 半導体、光物性、原子物理　（キーワード：放電、プラズマ、大気圧プラズマ、プラズマ医療、シミュレーション）

■ メールアドレス

■ 産学連携テーマ

1) 非平衡大気圧プラズマのモデリング・シミュレーション
2) プラズマと生体との相互作用解明に向けた基礎研究
3) エキシマランプおよびオゾン発生器用誘電体バリア放電に関する計算機解析
4) ナノカーボン材料創製用炭化水素ガス系プラズマの計算機解析

■ 所属学会

1.		照明学会
2.	2010/04～	∟ 照明学会　電極材料の電子放出特性と放電プラズマ発光特性研究調査委員会　委員
3.	2014/03	表面技術協会
4.	2012/06～	化学工学会
5.	1998/11～	応用物理学会
6.	2005/04～2007/03	∟ プラズマエレクトロニクス分科会　幹事
7.	2012/06～	∟ プログラム編集委員（中分類８．６）
8.	1995/11～	電気学会
9.	2004/07～2007/06	∟ 新しい光源とモデリング・計測調査専門委員会　委員
10.	2006/01～2008/12	∟ メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会　委員
11.	2007/12～2009/11	∟ 荷電粒子，励起種，解離種ならびに光子と原子分子ダイナミックス調査専門委員会　委員
12.	2007/12～2010/11	∟ 次世代光源調査専門委員会　委員
13.	2008/10～2009/03	∟ 平成21年電気学会全国大会　プログラム委員
14.	2009/04～2010/03	∟ 東海支部主催研究フォーラム　代表世話人
15.	2009/04～2012/03	∟ 論文委員会（A2グループ）　幹事
16.	2010/04～	∟ 高密度・高電離度金属プラズマの発生と利用技術調査専門委員会　委員
17.	2011/04～	∟ 原子・分子衝突断面積および放電基礎データ調査専門委員会
18.	2011/04～	∟ 編修専門第１部会　委員
19.	2011/06～	∟ 液界面プラズマの実験・計算モデル標準化調査専門委員会　委員
20.	2012/04～	∟ 論文委員会（A2グループ）副主査
21.	2012/08～	∟ 平成２５年電気学会全国大会論文グループ委員
5件表示
全件表示(21件)

■ 著書・論文・作品

1.	著書	わかりやすい電磁気学（共著） 2017/05
2.	著書	ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用（共著） 2016/12
3.	著書	現代電気電子材料 83-159頁（共著） 2013/08
4.	著書	大気圧プラズマ基礎と応用 246-253頁（共著） 2009/10
5.	論文	Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering Thin Solid Films 672,pp.104-108 （共著） 2019/01
6.	論文	Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering Japanese Journal of Applied Physics 57,pp.01AC03-1-01AC03-5 （共著） 2018/01
7.	論文	高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N2濃度の影響電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 137(10),570-576頁（共著） 2017/10
8.	論文	Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films Electronics and Communications in Japan 98(9),pp.31-39 （共著） 2015/09
9.	論文	Computational study of temporal behavior of incident species impinging on a water surface in dielectric barrier discharge for the understanding of plasma-liquid interface Japanese Journal of Applied Physics 54,pp.01AF03-1-01AF03-7 （共著） 2015/01
10.	論文	Recovery Mechanisms of Ozone Zero Phenomena by Adding Nitrogen and Nitrogen Monoxide in Atmospheric Pressure Oxygen Dielectric Barrier Discharges IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 134(7),pp.460-465 （共著） 2014/07
11.	論文	二次電子放出係数が大気圧酸素誘電体バリア放電に与える影響について電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 134(1),53-59頁（共著） 2014/06
12.	論文	ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波CH₄プラズマにおける基盤への入射炭素フラックスに関する数値解析電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 134(1),53-59頁（共著） 2014/01
13.	論文	Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry IEEE Transactions on Plasma Science 41(8),pp.1878-1883 （共著） 2013/08
14.	論文	Influence of Nitrogen Addition on Fundamental Discharge Properties in Alternating Current Plasma Display Panels Electronics and Communications in Japan 95(10),pp.37-43 （共著） 2012/10
15.	論文	ＡＣ型プラズマディスプレイパネル放電基礎特性へ及ぼす窒素ガス添加の影響電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 131-A(5) （共著） 2011/05
16.	論文	Carbon Nanotube Growth in Alcohol Vapor Plasma IEEE Trans. Plasma Sci., 37(7),pp.1150-1155 （共著） 2009/07
17.	論文	大気圧ヘリウム直流グロー放電の一次元流体シミュレーション電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 129-A(4),251-256頁（共著） 2009/04
18.	論文	Evaluation of Ion and Radical Fluxes in CH₄/H₂ Plasma for CNT Growth IEEJ Transactions on fundamentals and materials 128-A(10),pp.624-628 （共著） 2008/10
19.	論文	Development of Streamers in Dielectric- Barrier-Discharge Excimer Lamp IEEE Transactions on Plasma Science 36(1),pp.1336-1337 （共著） 2008/08
20.	論文	Numerical analysis of pressure dependence on carbon nanotube growth in CH₄/H₂ plasmas Thin Solid Films 516(19),pp.6570-6574 （共著） 2008/08
21.	論文	Innovative Alpha Radioactivity Monitor for Clearance Level Inspection Based on Ionized Air Transport Technology: CFD-Simulated and Experimental Ion Transport Efficiencies for Uranium-Attached Pipes Journal of Power and Energy Systems 2(2),pp.561-572 （共著） 2008/02
22.	論文	Effects of hydrogen on carbon nanotube formation in CH₄/H₂ plasmas Carbon 45,pp.1518-1526 （共著） 2007/06
23.	論文	Analysis of Oxidation State of Multi- Layered Catalyst Thin Films for Carbon Nanotube Growth Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Japanese Journal of Applied Physics 45(10B),pp.8323-8329 （共著） 2006/10
24.	論文	Predicting the amount of carbon in carbon nanotubes grown by CH₄ rf plasmas Journal of Applied Physics 99(1),pp.014302-1 - 014302-9 （共著） 2006/01
25.	論文	Modeling of multifilaments formation in dielectric barrier discharge excimer lamp IEEE Transactions on Plasma Science 33(2),pp.308-309 （共著） 2005/04
26.	論文	Two-peaked velocity distribution function of electrons in carbon tetrafluoride in crossed electric and magnetic fields IEEE Transactions on Plasma Science 33(2),pp.548-549 （共著） 2005/04
27.	論文	Ozone production efficiency of atmospheric dielectric barrier discharge of oxygen using time-modulated power supply Japanese Journal of Applied Physics 43(11A),pp.7689-7692 （共著） 2004/11
28.	論文	Xe/O₂ガス混合バリア放電のモデリング電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌） 123(12),1253-1258頁（共著） 2003/12
29.	論文	Ozone Production Efficiency in Atmospheric Dielectric Barrier Discharge of Oxygen/ Rare-Gas Mixture Japanese Journal of Applied Physics 42(8),pp.5313-5314 （共著） 2003/08
30.	論文	Two-dimensional modelling of CF₄ rf plasmas: periodic steady state, transient response after step change of power source voltage, and comparison with one-dimensional modelling Journal of Physics D: Applied Physics 35(22),pp.2978-2987 （共著） 2002/11
31.	論文	Transient behaviour of CF₄ rf plasmas after step changes of power source voltage Journal of Physics D: Applied Physics 34(12),pp.1919-1927 （共著） 2001/06
32.	論文	Estimation of the Light Output Power and Efficiency of Xe Barrier Discharge Excimer Lamps Using a One-Dimensional Fluid Model for Various Voltage Waveforms Journal of Physics D: Applied Physics 33(12),pp.1507-1513 （共著） 2000/06
33.	論文	The Drift Velocity Vector of Electron Swarms in Crossed Electric and Magnetic Fields Journal of Physics D: Applied Physics 33(10),pp.1191-1196 （共著） 2000/05
34.	論文	One-Dimensional Modeling of Low-frequency and High Pressure Xe Barrier Discharges for the Design of Excimer Lamps Journal of Physics D: Applied Physics 32(21),pp.2726-2736 （共著） 1999/11
35.	論文	1-D Modeling of LF High Pressure Xe Barrier Discharge Plasmas Journal of Technical Physics 40(1),pp.201-204 （共著） 1999/03
5件表示
全件表示(35件)

■ 研究題目

1.	2016/04～2019/03	硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築基盤研究(B)一般
2.	2014/04～2017/03	大気圧ハイドロカーボンプラズマ支援ＣＶＤによるＤＬＣ成膜技術開発に関する基礎研究基盤研究(C)
3.	2013/06～2018/03	マイクロ領域／マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究競争的資金等の外部資金による研究
4.	2011/11～2013/10	低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速ＤＬＣ成膜プロセスの開発競争的資金等の外部資金による研究
5.	2011/04～2013/03	大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究基盤研究（Ｃ）
6.	2011/04～2014/03	粒子輸送と熱的作用を考慮したプラズマと物質の相互ダイナミクスの解析新学術領域研究
5件表示
全件表示(6件)

■ ホームページ

http://www.eee.it-chiba.ac.jp/staff/oda.html