教員情報 - 坂本　幸弘 | 千葉工業大学

「CVDマイクロダイヤモンドアレイの作製」「マイクロ波プラズマによる窒化炭素の合成」「ラジカル窒化によるアルミニウムの表面改質」などが具体的な研究テーマ。プラズマや光、熱を用いた新奇材料合成や薄膜形成について研究している。また、得られた薄膜の電気電子的応用や光学的応用、表面分析についても興味がある。

■ 専門分野

無機材料、物性, 材料力学、機械材料, 反応工学、プロセスシステム工学　（キーワード：表面工学,薄膜工学）

■ 所属学会

1.		ニューダイアモンドフォーラム
2.		レーザー学会
3.		応用物理学会
4.		軽金属学会
5.		精密工学会
6.	2004/03	∟ 編集委員
7.		電気化学会
8.	2000/02～2000/09	∟ 2000電気化学秋季大会実行委員
9.		砥粒加工学会
10.		表面技術協会
11.	1996/03	∟ 第９３回講演大会実行委員
12.	1998/02～2000/03	∟ アカデミー実行委員
13.	1999/02～2000/03	∟ 学術委員
14.	1999/07～2000/03	∟ データベース委員
15.	1999/09～2000/03	∟ 第101回講演大会実行委員
16.	1999/12～2000/03	∟ 材料機能ドライプロセス部会庶務幹事
17.	2004/03	∟ 編集委員
18.	2004/03～2011/02	∟ 関東支部　主査
19.	2021/02～	∟ 副会長
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■ 著書・論文・作品

1.	著書	ドライプロセスによる表面処理・薄膜作製の応用（共著） 2016/12
2.	著書	初歩から学ぶマイクロ波応用技術（共著） 2004/06
3.	著書	プラズマを用いた素材の表面改質技術（共著） 2003/02
4.	著書	プラズマを用いた素材の表面改質技術（共著） 2003/02
5.	著書	薄膜作製プロセスにおける成膜条件の最適化（共著） 2003/01
6.	著書	薄膜作製プロセスにおける成膜条件の最適化～事例を挙げた問題点と解決手法～（共著） 2003/01
7.	論文	ICP RFプラズマによるCVDダイヤモンドのエッチング信学技法 2023-68 （共著） 2023/12
8.	論文	モード変換型マイクロ波プラズマCVDによる2インチ基板へのダイヤモンド合成信学技法 2023-67 （共著） 2023/12
9.	論文	Refinement of thermal conduction-based dew condensation detection on target solid surface by galvanic arrays sensor chip Nanoscacle and microscale thermophysical engineering （共著） 2023/11/24
10.	論文	ラマン分光法による電解硫酸中の酸化剤濃度測定日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 60(5),148-152頁（共著） 2023/09/12
11.	論文	バイポーラパルスを用いた高速度工具鋼のラジカル窒化日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 60(4),121-125頁（共著） 2023/04/26
12.	論文	SnドープDLC薄膜の化学結合状態と摩擦特性日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 59(5),153-157頁（共著） 2022/10
13.	論文	ボロンドープダイヤモンドの合成法と電気化学的応用トライボロジスト 68(5),329-334頁（単著） 2022/09/30
14.	論文	CVDダイヤモンド膜のプラズマエッチングにおけるH2O添加の影響日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 59(4),118-121頁（共著） 2022/08
15.	論文	マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成における成長速度に及ぼすマイクロ波出力および圧力の影響表面技術 73(8),412-415頁（共著） 2022/08
16.	論文	Plasma etching for carbon materials by inward RF plasma apparatus Transactions of the Institute of Materials Finishing 2058288 （共著） 2022
17.	論文	Deposition of ultrananocrystalline diamond at low temperature using CO, CH4 mixed carbon source Results in Materials (12),pp.100237 （共著） 2021/12
18.	論文	モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成における基板設置位置の影響日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 58(2),76-81頁（共著） 2021/04
19.	論文	アルミニウムの陽極酸化皮膜および有機塗膜における国際標準化の動向表面技術 71(9),534-537頁（共著） 2020/09
20.	論文	CVDダイヤモンド電極　-特性および合成方法- 日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 57(4),120-123頁（共著） 2020/08
21.	論文	電解硫酸中の酸化剤濃度測定の現状日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 57(4),132-135頁（共著） 2020/08
22.	論文	モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるBドープダイヤモンド合成における発光スペクトルとB含有量の関係表面技術 71(7),473-477頁（共著） 2020/07
23.	論文	CVD、プラズマCVD 表面技術 71(2),80-82頁（共著） 2020/02
24.	論文	プラズマプロセスを用いた新しい機能性材料の創成工業材料 68(2),57-62頁（共著） 2020/02
25.	論文	Micro/nano galvanic-coupled arrays for early and initial detection and prediction of dew condensation Sensors and Actuators A: Physical A(303),pp.111838 （共著） 2020
26.	論文	ダイヤモンド電極の作製と電解硫酸技術信学技報 OME2019(12),9-12頁（共著） 2019/12
27.	論文	RFスパッタリング法による窒化ホウ素膜の作製と機械的特性日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 56(4),152-157頁（単著） 2019/08
28.	論文	Estimate of Optical Emission Spectroscopy on synthesizing B-doped Diamond using Mode conversion Type Microwave plasma CVD Materials Science and Technology of Japan 56(3),pp.109-112 （共著） 2019/06
29.	論文	RF・H2OプラズマによるCVDダイヤモンドの表面改質日本金属学会誌８９(６),480-485頁（単著） 2019/06
30.	論文	マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性～CVDダイヤモンドに対する摩擦摩耗～真空ジャーナル (168),10-14頁（共著） 2019/04
31.	論文	Preparation of carbon based materials -Diamond, DLC, and carbon nitride- 8th Tsukuba International Coating Symposium (TICS8) 35-36頁（単著） 2018/12
32.	論文	ラジカル窒化における基板加熱法の影響表面技術 69(10),464-468頁（共著） 2018/10
33.	論文	単結晶ダイヤモンド基板上に合成したCVDホウ素ドープダイヤモンドの構造評価日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 55(3),111-115頁（共著） 2018/06
34.	論文	Fabrication of Boron-Doped Diamond Films on Cemented Tungsten Carbide Material Science and Technology of Japan 54(6),pp.211-216 （共著） 2017/12
35.	論文	超硬合金へのボロンドープダイヤモンドの生成表面技術 68(12),727-732頁（共著） 2017/12
36.	論文	ＲＦプラズマＣＶＤにより陽極酸化処理アルミニウム合金基板上へ作製したＤＬＣの摩擦摩耗特性日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 54(5),164-168頁（共著） 2017/10
37.	論文	モード変換型マイクロ波プラズマＣＶＤによる単結晶ダイヤモンド基板へのBドープダイヤモンドの成長日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 54(4),136-139頁（共著） 2017/08
38.	論文	熱CVDによるメラミンからのグラファイト状窒化炭素の合成炭素 276,8-14頁（共著） 2017
39.	論文	反応性スパッタによるTi-C-I系薄膜の作製信学技報 2016-57,17-19頁（単著） 2016/12
40.	論文	アルミニウム陽極酸化における封孔処理への電解硫酸技術の適用材料の科学と工学 53,94-99頁（共著） 2016/06
41.	論文	高速度工具鋼に被覆したDLC膜の密着性に及ぼす軟窒化処理の影響材料の科学と工学 53,90-93頁（共著） 2016/06
42.	論文	Preparation of CNx films by RF Reactive Sputtering -Effects of Sputtering Gas on the Hardness and Friction Coefficient Material Science and Technology of Japan 53,pp.56-60 （共著） 2016/04
43.	論文	アルミニウム陽極酸化への電解硫酸技術の適用材料の科学と工学 53,56-60頁（共著） 2016/04
44.	論文	硫酸浴によるアルミニウムメンブレンの作製と液体透過性アルトピア 10,10-16頁（共著） 2016/04
45.	論文	DLC Duplex Coating on High-Speed Tool-Seel Substrates Using Plasma Nitrocarburizing After Radical Nitriding Materials Performance and Characterization （共著） 2016/03
46.	論文	Pulse Frequency Effects on Carbon Nitride Snthesized Using Pulsed Microwave Plasma CVD Material Science and Technology of Japan 53,pp.33-36 （共著） 2016/01
47.	論文	Low-temperature synthesis of carbon nitride by microwave plasma CVD Japanese Journal of Applied Physics 55,pp.01AA15 （共著） 2016
48.	論文	Electrochemically Catalytic Activity of Boron-doped Diamond for I-/I0 Redox Couple Electrochemistry （共著） 2015/05
49.	論文	マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性表面技術 66(5),219-223頁（共著） 2015/05
50.	論文	RF反応性スパッタリングによるCNx膜形成における摩擦特性に及ぼすスパッタガスの影響千葉工業大学研究報告 62,9-14頁（単著） 2015
51.	論文	RF反応性スパッタリングによるCNx膜の作製－膜構造および機械的特性に及ぼす試料台電位とスパッタガスの影響－砥粒加工学会誌 58(10),644-651頁（共著） 2014/10
52.	論文	モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるBドープダイヤモンドの合成－電気的特性に及ぼす反応ガス流量の影響－材料の科学と工学 51,198-202頁（共著） 2014/10
53.	論文	マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦特性に及ぼす相手材の影響砥粒加工学会誌 58(9),589-592頁（共著） 2014/09
54.	論文	金属シェルで覆われた有機ポリマーのプラスチック基材に対する密着表面技術 64(2),66-67頁（共著） 2013/02
55.	論文	プラズマCVDにより合成した結晶性窒化炭素のトライボロジー特性に及ぼすCH4流量の影響砥粒加工学会誌 57(1),39-42頁（共著） 2013/01
56.	論文	鋳鉄のラジカル窒化―水素プラズマエッチングの影響― 砥粒加工学会誌 57(1),43-46頁（共著） 2013/01
57.	論文	Effects of initial oxidation on B phase depletion and oxidation of CoNiCrAlY bond coatings fabricated warm spray and HVOF processes Surface and Coating Technology SCT-18335,pp.1-11 （共著） 2013
58.	論文	マグネシウム合金とアルミニウム合金の接着強さに及ぼす接着剤の影響材料の科学と工学 49(1),39～43頁（共著） 2012/02
59.	論文	マグネシウム合金とチタン合金の接着強度と振動減衰特性に及ぼす陽極酸化処理の影響軽金属 61(10),513～517頁（共著） 2011/10
60.	論文	RFスパッタリングによる窒化ホウ素膜の作製におけるスパッタガスの影響砥粒加工学会誌 55(2),108-112頁（共著） 2011/02
61.	論文	アミノアクリル系樹脂被覆マグネシウム合金の耐食性に及ぼすシランカップリング処理の影響表面技術 61(12),835-840頁（共著） 2010/12
62.	論文	マイクロ波プラズマCVDによる結晶性窒化炭素の合成－皮膜特性に及ぼす炭素源とH2添加効果－表面技術 61(7),528-534頁（共著） 2010/07
63.	論文	Growth mechanismof polypyrrole through electrochemicalpolymerization electrochemistry 78(2),pp.140-142 （共著） 2010/02
64.	論文	アルコール溶液からの基板通電加熱法によるカーボンナノチューブ(CNT)の作製表面技術 60(4),262-267頁（共著） 2009/04
65.	論文	－マイクロ波を用いた化学－機能性薄膜プロセシング色材 82(3),118-122頁（単著） 2009/03
66.	論文	Electrochemical properties of CVD diamond Transactions of the Materials Research Society of Japan 33(2),pp.377-380 （共著） 2008
67.	論文	Electrochemical properties of CVD diamond （共著） 2007/09
68.	論文	Evaluation of FE properties of CVD carbon nitride （共著） 2007/09
69.	論文	Preparation of CVD diamond films and their electrochemical properties （共著） 2007/09
70.	論文	Preparation of diamond using microwave plasma CVD and its electro-chemical property （共著） 2007/09
71.	論文	Preparation of nano-crystal diamond using microwave plasma CVD （共著） 2007/09
72.	論文	Preparing carbon nanotubes on a substrate surface by ohmic heating in alcohol solution system （共著） 2007/09
73.	論文	Synthesis of diamond using microwave plasma CVD from CH4-H2-O2 reaction gas system （共著） 2007/09
74.	論文	Sliding wear properties of HVOF sprayed WC-20%Cr3C2-7%Ni cermet coating Surface and coating technology （共著） 2007
75.	論文	Suraface Modification of CVD Diamond and Their Tribological Properties Japanese Journal of Tribology 52(2),pp.155-161 （単著） 2007
76.	論文	Surface modification of CVD diamond and their tribological properties Japanese journal of Tribology （共著） 2007
77.	論文	マイクロ波プラズマCVDによるCH4-H2-O2系からのダイヤモンド合成砥粒加工学会誌（共著） 2007
78.	論文	Oxidation Property of CoNiCrAlY Coatings Prepared by Various Thermal Spraying Techniques Material Science Forum （共著） 2006/08
79.	論文	マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素合成における合成時間および合成圧力の影響材料の化学と工学（共著） 2006/04
80.	論文	Growth of carbon nitride using microwave plasma CVD Thin Solid Films （共著） 2005/11
81.	論文	陽極酸化によるマグネシウム合金上に作製したMg(OH2)膜の摩擦・摩耗特性軽金属（共著） 2003/12
82.	論文	Fabrication of nitrogen included carbon material using microwave plasma CVD Surface and Coating Technology （共著） 2003/08
83.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤで作製したＣＶＤダイヤモンドの電界電子放出特性千葉工業大学研究報告　理工編 49,27～30頁（共著） 2002/04
84.	論文	Surface　modified　tool　fabricated　by　radical　nitriding Surface　and　Coating　Technology 142-144,152～155頁（共著） 2001/10
85.	論文	ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の創成とその応用 2000千葉工業大学付属研究所研究報告 8頁（共著） 2001/10
86.	論文	燃焼炎法による炭素膜合成における基板回転とガス組成の影響表面技術 52(8),568～571頁（共著） 2001/08
87.	論文	ラジカル窒化基板へのダイヤモンド合成と密着性表面技術 52(1),137～138頁（共著） 2001/01
88.	論文	Ａｌ－Ｓｎスパッタ膜の作製とトライボロジー特性千葉工業大学研究報告　理工編 47,81～85頁（共著） 2000/04
89.	論文	ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の創製とその応用 1999　千葉工業大学付属研究所研究報告　PP.29～32 29頁（共著） 2000/03
90.	論文	Site-selective plasma CVD based on catalyyic nuleation enhancement: fabrication of micro-diamond arrays Diamond and Related Materirals 8,pp.1423-1426 （共著） 1999
91.	論文	Site-selective　diamond　growth　using　a　platinum　film　and　a　silicon　oxide　mask Applied　Physics　Letters 73(13),1913～1915頁（共著） 1998/09
92.	論文	Growth　of　(100)　orientation　diamond　film　deposited　by　MWPCVD　methods　using　the　gaseous　mixtures　of　CH4，CO　and　H2 Diamond　and　Related　Materials 7(6),765-768頁（共著） 1998/06
93.	論文	Micro　Single-Crystal　Diamond　Array Advanced　Materials-4 240～243頁（共著） 1998/05
94.	論文	Micro　Single-Crystal　Diamond　Array Advanced　Materials-4 240～243頁（共著） 1998/05
95.	論文	Fabrication　of　a　micro-　patterned　diamond　film　by　site-selective　plasma　chemical　vapor　deposition Thin　solid　films 334,161～164頁（共著） 1998/04
96.	論文	スパッタリングによるアパタイト膜の作製と組織制御千葉工業大学研究報告　理工編 45,27～32頁（共著） 1998/02/25
97.	論文	密着性に優れたダイヤモンド被覆工具によるAl-18mass%Si合金の切削特性表面技術 48(6),653～657頁（共著） 1997/06
98.	論文	サブミクロンダイヤモンド被覆ＷＣ－Ｃｏ工具の作製とその切削性精密工学会誌 63(4),525～529頁（共著） 1997/04
99.	論文	プラズマＣＶＤによる天然ガスからのダイヤモンド合成 1996千葉工業大学付属研究所　研究報告 92～94頁（共著） 1997/04
100.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤによるＣＨ４－ＣＯ－Ｈ２系ガスでのＳｉ（１００）基板へのダイヤモンド合成千葉工業大学研究報告　　理工編 (44),9～14頁（共著） 1997/04
101.	論文	高速度工具鋼へのダイヤモンド合成ニューダイヤモンド 12(4),20～21頁（共著） 1997/04
102.	論文	Adhesion　Strength　of　Diamond　Coated　WC-Co　Tools　Using　Microwave　Plasma　CVD Journal　of　Korean　Institute　of　Surface　Engineering 29(5),540～544頁（共著） 1996/10
103.	論文	Adhesion　Strength　of　Diamond　Coated　WC-Co　Tools　Using　Microwave　Plasma　CVD Journal　of　Korean　Institute　of　Surface　Engineering 29(5),540～544頁（共著） 1996/10
104.	論文	Low　Temperature　Diamond　Growth　Using　Microwave　Plasma　CVD Journal　of　Korean　Institute　of　Surface　Engineering 29(5),487～493頁（共著） 1996/10
105.	論文	マイクロ波プラズマCVDにより作製したダイヤモンド膜のAFM観察表面技術　表面技術協会 47(7),638～639頁（共著） 1996/07
106.	論文	パルスマイクロ波プラズマCVDによる微細粒ダイヤモンド膜の合成表面技術　表面技術協会 47(6),548～549頁（共著） 1996/06
107.	論文	Fe-P，　Ni-Pめっき基板上へのダイヤモンド合成表面技術　表面技術協会 47(5),438～442頁（共著） 1996/05
108.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤによるダイヤモンドの低温合成表面技術 45(12),1276-1281頁（共著） 1994/12
109.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤによるNi多結晶と単結晶へのダイヤモンド合成表面技術　表面技術協会 45(11),1130頁（共著） 1994/11
110.	論文	Diamond　Synthesis　on　the　Row-soot　coated　Substrates. Advances　in　New　Diamond　Science　and　Technology　MYU 187頁（共著） 1994/07
111.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤによるダイヤモンド合成における遷移金属の影響表面技術　表面技術協会 44(10),811頁（共著） 1993/10
112.	論文	高速度工具鋼へのダイヤモンド合成ニューダイヤモンド (43),20～21頁（共著） 1993/10
113.	論文	マイクロ波プラズマ法により作製したダイヤモンド膜の光学特性表面技術　表面技術協会 44(6),513頁（共著） 1993/06
114.	論文	マイクロ波プラズマ法によるダイヤモンド合成とその応用化学工業　７月号 513頁（共著） 1992/07
115.	論文	$C_2H_2$-$O_2$系燃焼炎からのダイヤモンド合成に及ぼす電位付与とそのモルフォロジー千葉工業大学研究報告理工編 (39),25頁（共著） 1992/03
116.	論文	マイクロ波プラズマＣＶＤ法による$C_2H_2$-$H_2$，$O_2$からのダイヤモンド合成とその発光種千葉工業大学研究報告理工編 (39),43頁（共著） 1992/03
117.	論文	$C_2H_2$-$O_2$系燃焼炎によるダイヤモンド合成における基板の影響表面技術　表面技術協会 41(5),114頁（共著） 1990/05
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■ 研究題目

1.	2022/12～2024/03	自動車の軽量化・電装化に必要な樹脂へのめっきを実現する環境負荷の低い循環型電解硫酸生成システムの開発競争的資金等の外部資金による研究
2.	2020/09～2021/03	電解硫酸技術を用いた廃CFRPからのCF回収と再利用に関する調査その他の補助金・助成金
3.	2019/04～2022/03	電解硫酸技術を活用した屋外で白化しにくいアルミ合金製品と表面処理装置の開発その他の補助金・助成金
4.	2018/04～2020/03	電気分解用導電性ダイヤモンドを高効率かつ安定品質で供給出来る革新的な成膜プロセスその他の補助金・助成金
5.	2017/03～2018/04	電気分解用導電性ダイヤモンドを高効率かつ安定品質で供給出来る革新的な成膜プロセスその他の補助金・助成金
6.	2016/07～2017/02	気相合成導電性ダイヤモンド成膜における金属系基材前処理法の開発競争的資金等の外部資金による研究
7.	2015/04～2018/03	高触媒活性を有するカーボン薄膜電極の作製と構造解析に関する研究競争的資金等の外部資金による研究
8.	2015/01～2015/08	ダイヤモンド電極の評価競争的資金等の外部資金による研究
9.	2004/12～2005/08	高温プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の作製及び生成物の評価
10.	2004/04～2005/03	炭素粉末への金属複合に関する研究
11.	2004/02～2005/03	ターボ機械用部品の表面コーティング技術の研究
12.	2003/10～2004/03	マイクロ波プラズマを用いた材料創製
13.	2003/05～2004/05	材料表面評価技術の確立
14.	2002/12～2003/05	ハロゲン系プラズマに対する高耐食性材料及びその成膜技術に関する研究
15.	2001/06～2002/03	プラズマによる薄膜加工技術開発とその評価
16.	2001/06～2001/11	ハロゲン系プラズマに対する高耐食性材料及びその成膜技術に関する研究
17.	2000/12～2001/06	ハロゲン系プラズマに対する高耐食性材料及びその成膜技術に関する研究企業からの受託研究
18.	1999/04～2001/03	ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の創成とその応用研究助成金
19.	1998/04～2000/03	パルスプラズマによるダイヤモンドの低温合成に関する研究奨励研究Ａ
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■ 社会的活動

2005/06～2011/03

千葉県ナノサーフェース技術勉強会

■ 委員会・協会等

1.	2021/02～	表面技術協会副会長
2.	2018～	ISO TC107 SC2 Chairman Chairman
3.	2012/08～	封孔度試験方法開発委員会委員長