教員情報 - 松井　伸介 | 千葉工業大学

学位

研究概要

専門分野

著書・論文・作品

研究題目

委員会・協会等

（最終更新日：2023-05-25 15:37:54）

  マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui
  松井　伸介
   所属   千葉工業大学工学部機械電子創成工学科

千葉工業大学工学研究科機械電子創成工学専攻

職種教授

■ 学位

名古屋大学博士(工学)

■ 研究概要

現代の産業では、より微細、かつ精密な加工技術が求められています。当研究室では、従来の精密機械加工技術とサイエンスを融合したマイクロ・ナノレベルの加工技術を研究しています。半導体デバイスの素材として主流になっているシリコンほか、サファイア、 SiC、ダイヤモンドといった次世代素材の加工技術の研究、光通信部品の加工技術の研究・開発などを手がけています。通信の大容量・高速化のためには加工技術の性能向上が不可欠ですので、より小さな部品をより高い精度で、より加工ダメージを与えない研磨・加工技術が必要とされています。まさに精密加工は、時代に要請されている最先端の分野。これからの日本のものづくりを支える技術といえます。

■ 専門分野

キーワード：加工学、ナノテクノロジー

■ 著書・論文・作品

1.	論文	単一工程光コネクタ現場組立用小型研磨機の開発精密工学会誌 Vol.76(No.6),pp.648 – 652頁（共著） 2010/06
2.	論文	たわみを用いた光ファイバ先端円筒レンズ加工（第一報）－くさび加工工程の検討－精密工学会誌 Vol.74(No.１),pp. 77 – 81頁（共著） 2008/01
3.	論文	AFMスクラッチによる光ファイバ端面加工変質層の評価砥粒加工学会誌 Vol.54(No10),pp.607 – 612頁（共著） 2010/10
4.	論文	光ファイバの端面研磨と加工変質層－加工変質層と反射減衰量の関係－精密工学会誌 Vol. 64(No. 10),pp.1467 – 1471頁（共著） 1998/10
5.	論文	遊離微粒子を援用したマイクロ形状加工技術の開発（第１報）－加工原理と光通信部品への適用－精密工学会誌 Vol.64(No. 1),pp. 162 – 166頁（共著） 1998/01
6.	著書	2.1.4 光コネクタ端面加工技術と小型研磨機への展開マイクロ・ナノ領域の超精密技術 pp.50 - 60頁（共著） 2011/03
7.	著書	Ⅲ，実例編，光ファイバ部品高付加価値のための精密研磨 pp.218 - 222頁（共著） 2010/02
8.	著書	5.1光コネクタの加工ダイヤモンド技術総覧 pp.553 - 558頁（共著） 2007/09
9.	著書	7.1.3　平坦化加工技術を用いたPLCモジュール最新の超精密加工・成型技術と部品化プロセス技術 pp.191 - 196頁（共著） 2001/05
10.	論文	光ファイバ端面のAFMによるナノ・マイクロ加工日本材料科学会誌“材料の科学と工学” 51(1),28-32頁（共著） 2014/02
11.	論文	高精度加工用真空ピンチャックの開発（第2報）－ピン支持研磨によるディンプル発生に研磨パッドプロファイルの与える影響－精密工学会誌 79(12),1246-1250頁（共著） 2013/12
12.	論文	Development of micro milling tool made of single crystalline diamond for ceramic cutting CIRP Annals - Manufacturing Technology 62,59-62頁（共著） 2013/08
13.	論文	光ファイバ端面マイクロテーパ加工技術の開発(第２報) -ラッピングフィルムによる平面研磨板の構成法砥粒加工学会誌 57(7),459-464頁（共著） 2013/07
14.	論文	現場組立光コネクターのための光ファイバー端面へのマイクロテーパー加工技術の開発 (60),35-40頁（共著） 2013/03
15.	論文	光ファイバー端面へのＡＦＭスクラッチ加工による加工特性の評価千葉工業大学研究報告　理工編 60(60),29-34頁（共著） 2013/03
16.	論文	Design and Performance of Field Installable Optical Connector Realizing Physical Contact Connection without Fiber Endface Polishing IEICE TRANS. ELECTRON E93-C(No.9),pp.pp.1411 – 1415 （共著） 2010/09
17.	論文	光ファイバ先端へのマイクロ曲面形状加工砥粒加工学会誌 Vol.54(No9),pp.562 – 572頁（共著） 2010/09
18.	論文	光ファイバ端面マイクロテーパ加工技術の開発砥粒加工学会誌 vol.54(No8),pp.488－493頁（共著） 2010/08
19.	論文	たわみを用いた光ファイバ先端円筒レンズ加工（第二報）－円筒レンズ加工工程の検討－精密工学会誌 Vol.74(No.3),pp. 269 - 274頁（共著） 2008/03
20.	論文	Development of a Rapid Polishing Machine for On-Site Optical Connector Assemble IEICE TRANSACTIONS in Electronics Vol. E89-C(No. 8),pp.pp. 1233 – 1237 （共著） 2006/08
21.	論文	Rapid Assembly Technique for Optical Connector IEICE TRANSACTIONS in Electronics Vol. E89-C(No. 8),pp.pp. 1227 – 1231 （共著） 2006/08
22.	論文	Characteristics of a vacuum pin chuck for ArF laser lithography Microelectronic Engineering Vol.67-68,pp.pp. 47 – 57 （共著） 2003/06
23.	論文	静圧シール型真空ピンチャックの開発精密工学会誌 Vol.69(No.6),pp. 798 - 802頁（共著） 2003/06
24.	論文	A new vacuum pin chuck for ArF laser lithography Microelectronic Engineering Vol.61-62,pp.pp. 113 – 121 （共著） 2002/07
25.	論文	New Structure of Silica-Based Planar Lightwave Circuits for Low-Power Thermooptic Switch and its Application to 8 x 8 Optical Matrix Switch Journal of Lightwave Technology VOL.20(NO.6),pp.pp.993 – 1000 （共著） 2002/06
26.	論文	シングルモード用プラスチックフェルールの研磨条件の検討電子情報通信学会論文誌　C Vol. J85-C(No.2),pp. 84－93頁（共著） 2002/02
27.	論文	Flattening ability of a vacuum pin chuck around the periphery of a processed wafer Microelectronic Engineering Microelectronic Engineering Vol. 57-58,pp.pp. 49 – 57 （共著） 2001/09
28.	論文	アレイベア光ファイバの一括端面加工精密工学会誌 Vol.67(No.5),pp. 824 – 828頁（共著） 2001/05
29.	論文	真空ピンチャックの吸着特性（第三報）－ピン先端とウエハ裏面との接触－精密工学会誌 Vol.67(No.5),pp. 819 - 823頁（共著） 2001/05
30.	論文	Influence of Wafer Chucking on Focus Margin for Resolving Fine Patterns in Optical Lithography Microelectronic Engineering Vol.53,pp.pp.137 - 140 （共著） 2000/06
31.	論文	SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工電機学会論文誌　E Vol.117(No.1),pp.57 –　58頁（共著） 2000/01
32.	論文	Low-Power Consumption Silica-Based 2x2 Thermooptic Switch Using Trenched Silicon Substrate IEEE Photonics Technology Letters Vol. 11(No.9),pp.pp.1132 – 1134 （共著） 1999/09
33.	論文	Characterization of Subsurface Damage Made by an Atomic Force Microscopy Scratch Test on an Optical-Fiber End Plane Precision Science and Technology for Perfect surface (No. 3),pp.pp. 893 – 898 （共著） 1999/08
34.	論文	真空ピンチャックの吸着特性（第２報）－裏面うねりの表面平坦度への影響の低減－精密工学会誌 Vol.65(No. 7),pp.1021 – 1026頁（共著） 1999/07
35.	論文	真空ピンチャックの吸着特性（第１報）－裏面粗さの表面平坦度への影響－精密工学会誌 Vol. 64(No. 10),pp. 1517 – 1522頁（共著） 1998/10
36.	論文	高精度加工用真空ピンチャックの開発（第1報）－ピン支持によるチャッキングの高精度化－精密工学会誌 Vol. 63(No. 12),pp. 1705 – 1709頁（共著） 1997/12
37.	論文	Laser-Diode Array Packaging in Opto- Electronic Multichip Modules IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology Vol.19(No. 3),pp.pp.628 – 634 （共著） 1996/03
38.	論文	光コネクタ端面の高性能研磨装置の開発砥粒加工学会誌 Vol. 40(No.2),pp. 75 – 80頁（共著） 1994/03
39.	論文	Heat-resistant single-mode optical waveguides using fluorinated polyimide Electronics Letters Vol. 29(No.24),pp.pp. 2107 - 2109 （共著） 1993/11
40.	論文	Low-loss in-line microfilter fabricated by precision trench machining Applied Optics Vol.31(No. 9),pp.pp. 1252 – 1256 （共著） 1992/09
41.	論文	軟鋼板の深絞り性支配機構の究明日本機械学会論文集C編 Vol.52(No. 478),pp.1853 – 1859頁（共著） 1986/06
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■ 研究題目

1.	2022/04～2025/03	パワーデバイス用難研磨材料のためのAFMスクラッチ等による研磨加工現象の究明基盤研究（C）
2.	2019/04～2022/03	AFM触針スクラッチ加工による加工現象の研究基盤研究(C)
3.	2016/04～2016/08	低炭素社会を実現する次世代／窒化ガリウムパワーデバイスの実用化促進等に関する研究競争的資金等の外部資金による研究
4.	2015/04～2018/03	AFMを用いた研磨加工素過程とナノ・マイクロ加工の研究基盤研究(C)一般
5.	2012/04～2015/03	エイエフエムナノ加工による研磨加工素過程のシミュレーション実験に関する研究基盤研究(C)
6.	2011/09～2017/03	単結晶ダイヤモンド製マイクロドリルの超精密研削・研磨技術とオンマシン計測技術の開発競争的資金等の外部資金による研究
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■ 委員会・協会等

1.	2016/04/01	精密工学会賛助会員の会運営委員会幹事
2.	2015/04/01～	砥粒加工学会理事
3.	2015/04/01～	砥粒加工学会贈賞委員会副委員長
4.	2015/04/01～	砥粒加工学会校閲委員会副委員長
5.	2014/04/01～	精密工学会理事
6.	2014/04/01～2016/03/31	精密工学会事業企画委員長
7.	2012/04/01～2014/03/31	精密工学会事業企画第２グループリーダ
8.	2010/04/01～2014/03/31	精密工学会評議員
9.	1984/10/01～	精密工学会会員
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