ウチダ シロウ   Sirou Uchida
  内田 史朗
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
取得国 国内
特許番号 特許第4383753号
取得年月日 2009/10
特許名 窒化物半導体素子の製造方法及び窒化物半導体素子