サイトウ テツジ
Tetsuji Saito
齋藤 哲治
所属
千葉工業大学 工学部 先端材料工学科
千葉工業大学 工学研究科 工学専攻
千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻
職種
教授
取得国
国内
知的財産権の種類
特許権
特許番号
特許第3816595号
取得年月日
2006/06/16
特許名
スパッタリングターゲットおよびその製造方法