シンタニ ユキヒロ   Shintani Yukihiro
  新谷 幸弘
   所属   千葉工業大学  未来変革科学部 経営デザイン科学科
   千葉工業大学  社会システム科学研究科 マネジメント工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2013
形態種別 論文その他
標題 フッ素ガスによるダイヤモンドのフッ素終端化
執筆形態 共著
掲載誌名 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
掲載区分国内
巻・号・頁 74th,ROMBUNNO.18A-D1-10頁
著者・共著者 小林幹典,新谷幸弘,新谷幸弘,明道三穂,川原田洋