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ヒラタ アキヒコ
Hirata Akihiko
枚田 明彦 所属 千葉工業大学 工学部 情報通信システム工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 情報通信システム工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 1996/11 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | A WSixN diffusion barrier formed with electron cyclotron resonance nitrogen plasma |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Journal of the Electrochemical Society |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 143(11),pp.3747-3751 |
| 著者・共著者 | Akihiko Hirata, Tetsuo Hosoya, Katsuyuki Machida, Hidetoshi Takaoka and Hideo Akiya |