ヒラタ アキヒコ
Hirata Akihiko
枚田 明彦 所属 千葉工業大学 工学部 情報通信システム工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 情報通信システム工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1999/01 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | Copper Damascene interconnection with Tungsten Silicon Nitride Diffusion Barrier Formed by Electron Cyclotron Resonance Plasma Nitridation |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics |
掲載区分 | 国内 |
巻・号・頁 | 38(1),pp.2355-2359 |
著者・共著者 | Akihiko Hirata, Katsuyuki Machida, Nobuyoshi Awaya, Hakaru Kyuragi, and Masahiko Maeda |