ヒラタ アキヒコ
Hirata Akihiko
枚田 明彦 所属 千葉工業大学 工学部 情報通信システム工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 情報通信システム工学専攻 職種 教授 |
|
言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2000/03 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | A electrostatic micromechanical switch for logic operation in multichip modules on Si |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Sensors and Actuators A (Physical) |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | A80(2),pp.119-125 |
著者・共著者 | Akihiko Hirata, Katsuyuki Machida, Hakaru Kyuragi, and Masahiko Maeda |