ウチダ シロウ
Sirou Uchida
内田 史朗 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2018/09 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | Room-temperature bonding of GaAs//Si and GaN//GaAs wafers with low electrical resistance |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Applied Physics Express |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | The Japan Society of Applied Physics |
巻・号・頁 | 11(10),pp.106501-1-10651-3 |
著者・共著者 | Yoshiaki Ajima, Yuki Nakamura, Kenta Murakami, Hideo Teramoto, Ryota Jomen, Xing Zhiwei, Pan Dai, Shulong Lu and Shiro Uchida |