ウチダ シロウ   Sirou Uchida
  内田 史朗
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2018/09
形態種別 学術雑誌
標題 Room-temperature bonding of GaAs//Si and GaN//GaAs wafers with low electrical resistance
執筆形態 共著
掲載誌名 Applied Physics Express
掲載区分国外
出版社・発行元 The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁 11(10),pp.106501-1-10651-3
著者・共著者 Yoshiaki Ajima, Yuki Nakamura, Kenta Murakami, Hideo Teramoto, Ryota Jomen, Xing Zhiwei, Pan Dai, Shulong Lu and Shiro Uchida