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タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2002 |
| 形態種別 | 国際会議プロシーディングス |
| 標題 | Manufacture of fly-eye mirror in extreme ultraviolet lithography illumination system by means of ultraprecision diamond cutting |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Proc. SPIE 4688 |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | SPIE |
| 巻・号・頁 | 656-673頁 |
| 著者・共著者 | Yoshinori Hashimoto, Yoshimi Takeuchi, Tomohiko Kawai, Kiyoshi Sawada, Hideo Takino, Norio Shibata |