タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
|
言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2007 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Smoothing of diamond-turned copper surfaces using ion beams with aid of planarization film |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Jpn J. Applied Physics |
巻・号・頁 | 46(9A),pp.6071-6073 |
著者・共著者 | Frank Frost, Hideo Takino, Renate Fechner, Axel Schindler, Namiko Ohi, Kazushi Nomura |