タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2002 |
形態種別 | 国際会議プロシーディングス |
標題 | Fabrication of a fly-eye mirror for an extreme ultraviolet lithography illumination system by arranging silicon mirror elements |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Proc. SPIE 4688 |
巻・号・頁 | pp.648-655 |
著者・共著者 | Hideo Takino, Teruki Kobayashi, Kazushi Nomura, Masaaki Kuki, Akinori Itoh, Junji Nakamura, Hideki Komatsuda, Norio Shibata |