|
タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2005 |
| 形態種別 | 論文その他 |
| 標題 | EUV露光装置用光学素子加工技術の開発 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 超精密 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 精密工学会 超精密加工専門委員会 |
| 巻・号・頁 | 15,37-44頁 |
| 著者・共著者 | 瀧野日出雄，沼田敦史 |