タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2004 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Ultraprecision 5-axis control machining of fly-eye mirror in EUV lithography |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | JSME Int. Journal,Series C |
巻・号・頁 | 47(3),pp.916-924 |
著者・共著者 | Yoshinori Hashimoto, Yoshimi Takeuchi, Tomohiko Kawai, Kiyoshi Sawada, Hideo Takino, Kazushi Nomura |