タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	High quality cutting of polished single-crystal silicon by wire electrical discharge machining
執筆形態	共著
掲載誌名	Precision Engineering
巻・号・頁	29(4),pp.423-430
著者・共著者	Hideo Takino, Toshimitsu Ichinohe, Katsunori Tanimoto, Syuichi Yamaguchi, Kazushi Nomura, Masanori Kunieda