タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/10
形態種別	国際会議プロシーディングス
標題	Figuring of fused silica optical surface with thin parts by plasma chemical vaporization machining
執筆形態	共著
掲載誌名	Proc .SPIE
掲載区分	国外
出版社・発行元	SPIE
巻・号・頁	11168,pp.1116809-1-1116809-6
総ページ数	6
著者・共著者	Hideo Takino, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, and Yuzo Mori