スガ ヒロシ   Hiroshi Suga
  菅 洋志
   所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科
   千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2018/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Kyohei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, and Hiroshi Suga: "Evaluation of Nanoimprinting Multilayer Lift-off Process using Spin-on-glass for Nanogap Electrode Array" Journal of Photopolymer Science and Technology 31, 227-282 (2018.5). https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.277
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Photopolymer Science and Technology
掲載区分国外
巻・号・頁 31,277-282頁