スガ ヒロシ   Hiroshi Suga
  菅 洋志
   所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科
   千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2017/07
形態種別 学術雑誌
標題 Damage-free polymer surface modification employing inward-type plasma
執筆形態 共著
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分国外
出版社・発行元 The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁 56,pp.086201
著者・共著者 Ryo Kanou, Hiroshi Suga, Hideyuki Utsumi, Satoshi Takahashi, Yuuya Shirayama, Norhimichi Watanabe, Stephane Petit, Tetsuo Shimizu