スガ ヒロシ   Hiroshi Suga
  菅 洋志
   所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科
   千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/04
形態種別 学術雑誌
標題 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイアフラム構造作製技術の開発
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of the Vacuum Society of Japan
掲載区分国内
出版社・発行元 Vacuum Society of Japan
巻・号・頁 60,148-152頁
著者・共著者 狩野諒、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳、清水哲夫、宮脇淳