シモダ アツシ
ATSUSHI SHIMODA
下田 篤 所属 千葉工業大学 未来変革科学部 デジタル変革科学科 千葉工業大学 社会システム科学研究科 マネジメント工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2000/09 |
形態種別 | 国際会議プロシーディングス |
査読 | 査読あり |
標題 | Short Cycle Killer-particle Control based on Accurate In-Line Defect Classification |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Proceedings of 9th International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM2000) |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | pp.199-202 |
著者・共著者 | Atsushi Shimoda, Kenji Watanabe, Yuji Takagi, Shunji Maeda |