サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/04/01
形態種別	学術雑誌
標題	走査型プローブ顕微鏡によるサファイア基板上窒化ガリウム層の表面形状及び表面電位観測
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人 電気学会
巻・号・頁	136(4),96-101頁
総ページ数	6
著者・共著者	潤間 威史, 佐藤 宣夫, 石川 博康
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.96
ISSN	1341-8939
NAID	130005141444