サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2015/04/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	直下入射方式の光てこ変位検出によるツインプローブ原子間力顕微鏡
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人 電気学会
巻・号・頁	135(4),135-141頁
総ページ数	7
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	佐藤 宣夫, 常見 英加, 小林 圭, 小松原 隆司, 樋口 誠司, 松重 和美, 山田 啓文
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.135.135
ISSN	1341-8939
NAID	130005061969