|
サトウ ノブオ
Satoh Nobuo
佐藤 宣夫 所属 千葉工業大学 工学部 機械電子創成工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2019/06/13 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | Cross-sectional observation in nanoscale for Si power MOSFET by atomic force microscopy/Kelvin probe force microscopy/scanning capacitance force microscopy |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 58 |
| 著者・共著者 | Atsushi Doi, Mizuki Nakajima, Sho Masuda, Nobuo Satoh, Hidekazu Yamamoto |