サトウ ノブオ   Satoh Nobuo
  佐藤 宣夫
   所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/11/14
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Development of atomic force microscopy combined with scanning electron microscopy for investigating electronic devices
執筆形態 共著
掲載誌名 AIP Advances
掲載区分国外
巻・号・頁 9
著者・共著者 Takeshi Uruma, Chiaki Tsunemitsu, Katsuki Terao, Kenta Nakazawa, Nobuo Satoh, Hidekazu Yamamoto, and Futoshi Iwata