|
マツイ シンスケ
Shinsuke Matsui
松井 伸介 所属 千葉工業大学 工学部 機械電子創成工学科 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2013/12 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | 高精度加工用真空ピンチャックの開発 （第2報）－ピン支持研磨によるディンプル発生に研磨パッドプロファイルの与える影響－ |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 精密工学会誌 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 精密工学会 |
| 巻・号・頁 | 79(12),1246-1250頁 |
| 著者・共著者 | 宇根暢篤,鴨打輝正 |