マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1998/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	真空ピンチャックの吸着特性（第１報）－裏面粗さの表面平坦度への影響－
執筆形態	共著
掲載誌名	精密工学会誌
出版社・発行元	精密工学会
巻・号・頁	Vol. 64(No. 10),pp. 1517 – 1522頁
著者・共著者	宇根篤暢・津島佳男・餅田正秋・松井伸介・大平文和・石川良征