マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1999/07
形態種別	学術雑誌
標題	真空ピンチャックの吸着特性（第２報）－裏面うねりの表面平坦度への影響の低減－
執筆形態	共著
掲載誌名	精密工学会誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	精密工学会
巻・号・頁	Vol.65(No. 7),pp.1021 – 1026頁
著者・共著者	宇根篤暢・餅田正秋・松井伸介・大平文和・石川良征