マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2000/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
執筆形態	共著
掲載誌名	電機学会論文誌　E
出版社・発行元	電気学会
巻・号・頁	Vol.117(No.1),pp.57 –　58頁
著者・共著者	伊藤高廣・輿水博・松井伸介・澤田廉士