マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/06
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Influence of Wafer Chucking on Focus Margin for Resolving Fine Patterns in Optical Lithography
執筆形態	共著
掲載誌名	Microelectronic Engineering
出版社・発行元	Microelectronic Engineering
巻・号・頁	Vol.53,pp.pp.137 - 140
著者・共著者	A. Une,Y. Kai,M. Mochida,S. Matsui, F. Ohira