マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2001/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	真空ピンチャックの吸着特性（第三報）－ピン先端とウエハ裏面との接触－
執筆形態	共著
掲載誌名	精密工学会誌
出版社・発行元	精密工学会
巻・号・頁	Vol.67(No.5),pp. 819 - 823頁
著者・共著者	甲斐志直・持田正秋・宇 根篤暢・松井伸介・石川良征・大平文和