マツイ シンスケ
Shinsuke Matsui
松井 伸介 所属 千葉工業大学 工学部 機械電子創成工学科 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2002/07 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | A new vacuum pin chuck for ArF laser lithography |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Microelectronic Engineering |
出版社・発行元 | Microelectronic Engineering |
巻・号・頁 | Vol.61-62,pp.pp. 113 – 121 |
著者・共著者 | A. Une,P. Kunyoo,M. Mochida,K. Yoshitomi,S. Matsui |