マツイ　シンスケ   Shinsuke Matsui   松井　伸介    所属   千葉工業大学  工学部 機械電子創成工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2003/06
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	静圧シール型真空ピンチャックの開発
執筆形態	共著
掲載誌名	精密工学会誌
出版社・発行元	精密工学会
巻・号・頁	Vol.69(No.6),pp. 798 - 802頁
著者・共著者	宇根篤暢・プラユーン　カーン・持田正秋・吉冨健一郎・松井伸介