オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2006/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Analysis of Oxidation State of Multi- Layered Catalyst Thin Films for Carbon Nanotube Growth Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	45(10B),pp.8323-8329
著者・共著者	A. Okita, A. Ozeki, Y. Suda, J. Nakamura, A. Oda, K. Bhattacharyya, H. Sugawara, Y. Sakai