オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2008/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Numerical analysis of pressure dependence on carbon nanotube growth in CH4/H2 plasmas
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
出版社・発行元	Elsevier
巻・号・頁	516(19),pp.6570-6574
著者・共著者	A. Oda, A. Okita and Y. Suda