オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2008/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Evaluation of Ion and Radical Fluxes in CH4/H2 Plasma for CNT Growth
執筆形態	共著
掲載誌名	IEEJ Transactions on fundamentals and materials
出版社・発行元	The Institute of Electrical Engineers of Japan
巻・号・頁	128-A(10),pp.624-628
著者・共著者	Y. Hizume, A. Okita, A. Oda, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai