オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2018/01
形態種別	学術雑誌
標題	Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国外
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	57,pp.01AC03-1-01AC03-5
著者・共著者	K. Hattori, T. Ohta, A. Oda, and H. Kousaka