オダ アキノリ   ODA Akinori
  小田 昭紀
   所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2016/12
形態種別 単行本
標題 ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
執筆形態 共著
掲載区分国内
出版社・発行元 コロナ社