オダ アキノリ
ODA Akinori
小田 昭紀 所属 千葉工業大学 工学部 電気電子工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2015/09 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Electronics and Communications in Japan |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | 98(9),pp.31-39 |
著者・共著者 | A. Oda and H. Kousaka |