オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2013/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry
執筆形態	共著
掲載誌名	IEEE Transactions on Plasma Science
出版社・発行元	IEEE
巻・号・頁	41(8),pp.1878-1883
著者・共著者	M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, Akinori Oda, Y. Matsuda, and H. Fujiyama
DOI	10.1109/TPS.2013.2263850