オダ アキノリ
ODA Akinori
小田 昭紀 所属 千葉工業大学 工学部 電気電子工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2002/11 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Two-dimensional modelling of CF4 rf plasmas: periodic steady state, transient response after step change of power source voltage, and comparison with one-dimensional modelling |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Journal of Physics D: Applied Physics |
出版社・発行元 | Institute of Physics |
巻・号・頁 | 35(22),pp.2978-2987 |
著者・共著者 | S-Y. So, A. Oda, H. Sugawara and Y. Sakai |