イノウエ　ヤスシ   INOUE Yasushi   井上　泰志    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007/11
形態種別	学術雑誌
標題	Radio frequency power dependence in formation of SiO:CH thin films by plasma-enhanced chemical vapor deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国内
巻・号・頁	46(11),pp.7460-7464
著者・共著者	YongSup Yun, Takanori Yoshida, Norifumi Shimazu, Naoki Nanba, Yasushi Inoue, Nagahiro Saito and Osamu Takai