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イノウエ ヤスシ
INOUE Yasushi
井上 泰志 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2009/04 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | 反応性プラズマ中の斜め堆積による微絨毛構造状窒化物薄膜の形成 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 真空 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 日本真空学会 |
| 巻・号・頁 | 52(4),191-196頁 |
| 著者・共著者 | 井上 泰志，高井 治 |