イノウエ ヤスシ
INOUE Yasushi
井上 泰志 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2010/02 |
形態種別 | 論文その他 |
標題 | プラズマ環境における動的斜め堆積法 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 表面技術 |
掲載区分 | 国内 |
出版社・発行元 | 表面技術協会 |
巻・号・頁 | 61(2),209頁 |
著者・共著者 | 井上 泰志,高井 治 |