イノウエ ヤスシ   INOUE Yasushi
  井上 泰志
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2010/02
形態種別 論文その他
標題 プラズマ環境における動的斜め堆積法
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術
掲載区分国内
出版社・発行元 表面技術協会
巻・号・頁 61(2),209頁
著者・共著者 井上 泰志,高井 治