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イノウエ ヤスシ
INOUE Yasushi
井上 泰志 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2016/10 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 招待論文 | 招待あり |
| 標題 | スパッタリングによる化合物薄膜作製 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | ケミカルエンジニヤリング |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 化学工業社 |
| 巻・号・頁 | 61(10),770-776頁 |
| 著者・共著者 | 井上泰志 |