イノウエ　ヤスシ   INOUE Yasushi   井上　泰志    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Room-temperature deposition of high-purity silicon oxide films by RF plasma-enhanced CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	Surf. Coat. Technol.
巻・号・頁	146,pp.451-456
著者・共著者	Katsuya Teshima, Yasushi Inoue, Hiroyuki Sugimura and Osamu Takai