イノウエ ヤスシ
INOUE Yasushi
井上 泰志 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2001 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | In situ surface analysis by infrared reflection absorption spectroscopy in PECVD of silicon-oxide films |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Thin Solid Films |
巻・号・頁 | 386(2),pp.252-255 |
著者・共著者 | Yasushi Inoue, Hiroyuki Sugimura and Osamu Takai |