サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1998/04
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Fabrication　of　a　micro-　patterned　diamond　film　by　site-selective　plasma　chemical　vapor　deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin　solid　films
出版社・発行元	Elsevier
巻・号・頁	334,161～164頁
著者・共著者	Yukihiro　Sakamoto，　Matsufumi　Takaya，　Hiroyuki　Sugimura(Nagoya　Univ.)，　Osamu　Takai(Nagoya　Univ.)，　Nobuyuki　Nakagiri(Nikon　Co.)