サカモト ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto
  坂本 幸弘
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2022/08
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成における成長速度に及ぼすマイクロ波出力および圧力の影響
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術
掲載区分国内
出版社・発行元 表面技術協会
巻・号・頁 73(8),412-415頁
総ページ数 4
担当区分 責任著者
著者・共著者 亀嶋匠