サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2019/08 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | RFスパッタリング法による窒化ホウ素膜の作製と機械的特性 |
執筆形態 | 単著 |
掲載誌名 | 日本材料科学会誌“材料の科学と工学” |
出版社・発行元 | 日本材料科学会 |
巻・号・頁 | 56(4),152-157頁 |
総ページ数 | 6 |
著者・共著者 | 丸子拓也,今宮麻衣,鈴木飛鳥,高橋芳弘,坂本幸弘 |